某某工业装备设计
中心芯片台
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XYZ:台面尺寸： 40x40mm行程：13mm ;迅速度1μm，交织滚柱导轨 θZ:角度移动量:360° ，细调±5°，迅速度：0.01° 芯片夹具：定制，可以控温，标准10-85℃
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